低粘度礦物油霧的質量中值直徑范圍為5到110微米。可溶性油霧的質量中值直徑在40到80微米之間變化，平均幾何標準偏差為2.4，不受任何參數(shù)的影響。

當油霧超標的時候，需要采用計數(shù)濃度法，即通過測定潔凈環(huán)境內單位體積空氣中含大于或等于某粒徑的懸浮粒子數(shù)，來評定該潔凈室的潔凈度等級。測試方法采用ISO14644.1《Cleanrooms and asociated controlled environments-Part 1 Classification of air cleanliness》以及GB/T16292-2010《醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測試方法》。為確認*潔凈區(qū)的級別，每個采樣點的采樣量不得少于1m³。*潔凈區(qū)空氣懸浮粒子的級別為ISO4.8，以≥5.0um的懸浮粒子為限度標準。B級潔凈區(qū)（靜態(tài)）的空氣懸浮粒子的級別為ISO5，同時包括表中兩種粒徑的懸浮粒子。對于C級潔凈區(qū)（靜態(tài)和動態(tài)）而言，空氣懸浮粒子的級別分別為ISO7和ISO8。對于D級潔凈區(qū)（靜態(tài)）空氣懸浮粒子的級別為ISO8。

 為了檢測的相互驗證，建議壓縮空氣檢測同時檢測油水塵微生物。因為油超標，會滋生微生物，顆粒物超標，定期的檢測，可及時維護過濾器，管道等配件，防止污染產(chǎn)品。